上海的七月，热得像蒸笼。
赵四走下火车时，扑面而来的不只是热浪，还有一股混合着机油、铁锈和潮湿空气的工业味道。上海元件三厂。
前身是生产电子管的国营厂，现在被划给了748工程，作为第一条4位微处理器生产线的筹建地点。
厂门口挂着新牌子：“748工程上海实验基地”。字是刚刷的，白底红字，在烈日下有些刺眼。
林雪已经在门口等着了，晒得满脸通红，工装后背湿了一大片。
“赵总工！”她小跑着迎上来。
“怎么是你来接？陈启明他们呢？”赵四把简单的行李递给她。
“在车间，出事了。”林雪压低声音，“第一炉光刻，良品率……不到5%。”
赵四心里一沉：“走，去看看。”
车间是原先的电子管装配车间改造的，窗户都封死了，装了简易的空调和除尘设备。
一走进去，一股更复杂的气味扑面而来。化学试剂、臭氧、还有金属烧灼后的焦味。
陈启明、张卫东都在，还有上海本地的刘工，几个人围在一台老旧的光刻机前，脸色都很难看。
“赵总工。”陈启明看见他，嗓子哑得厉害。
“具体什么情况？”赵四没废话，直接走到工作台前。
台上摊着几片晶圆，在日光灯下泛着诡异的彩色光泽。
他拿起一片对着光看。
上面刻蚀的电路图案模糊不清，有的地方线条断了，有的地方粘连在一起，像小孩子拙劣的涂鸦。
“这是第一炉？”赵四问。
“第三炉了。”刘工苦着脸，“第一炉全军覆没，第二炉好点，有3%能用。这炉……最多5%。”
“问题出在哪？”
“不知道。”陈启明抓了抓头发，头发上沾着不知名的化学粉末，
“光刻胶不均匀？曝光时间不对？显影液浓度有问题？都有可能。我们挨个试，试了三天，还是这样。”
赵四放下晶圆，走到光刻机前。
这台机器是六十年代初从东德进口的，原本用于生产简单的晶体管。
控制面板上的德文标签已经磨损，几个旋钮的刻度都模糊了。
“机器校准过吗？”
“校准了三次。”张卫东说，“我和刘工亲自调的。光学系统我们也拆开清洁过，镜片没问题。”
“光刻胶呢？”
“按配方配的。”林雪接口，“我们试了三种配方，这种效果最好，但也……”
赵四沉默了一会儿，环视车间。
这里条件确实简陋。洁净度最多千级，温度控制靠几台老空调，湿度完全看天气。
而他们要做的，是在硅片上刻出宽度只有几微米的线条。
这就像用生锈的刻刀在头发丝上雕刻。
“把所有人都叫来。”他忽然说，“开个现场会。”
十分钟后，车间里站了二十几个人。
除了北京来的核心团队，还有上海厂本来的技术工人、新招的学徒，以及几个从其他单位借调来的专家。
大家都站着，没人坐。空气闷热，但没人擦汗。
“情况大家都看到了。”赵四开门见山，“良品率5%，等于100片里只有5片能用。这个成本，我们承受不起。更关键的是，如果连最简单的光刻都过不了关，后面的扩散、离子注入、金属化，更没戏。”
他顿了顿，目光扫过每个人：“现在不是互相埋怨的时候，也不是退缩的时候。我们需要找到问题，解决问题。每个人，说说自己的看法。从光刻胶开始。”
负责光刻胶的是个中年女技术员，姓王，以前在化工厂工作。她有些紧张：“赵总工，我……我都是按配方配的。原料是咱们能搞到的最好的，配比也是反复核对过的。”
“原料批次稳定吗？”
“不稳定。”王技术员实话实说，“这批重铬酸盐是天津产的，纯度标的是99%，但实际怎么样……我们没仪器测。”
“显影液呢？”
“显影时间控制不准。”一个年轻工人举手，“咱们的定时器是机械的，误差大。有时候差几秒钟，效果就完全不一样。”
“还有温度。”另一个说，“车间温度波动大，光刻胶的感光性会变。中午热的时候和晚上凉的时候，曝光时间得调。”
问题一个接一个地冒出来。设备老旧、材料不稳、环境控制差、操作经验不足……每一个问题单独看都不致命，但叠加在一起，就成了跨不过去的坎。
等大家都说完，车间里一片沉默。
沮丧的情绪像车间里的化学气味一样，弥漫在空气中，黏糊糊的，甩不掉。
“都说完了？”赵四问。
没人吭声。
“好，那我说几句。”他走到光刻机前，拍了拍那台老旧的机器，“这台机器，是东德二十年前的产品。按国际标准，早该淘汰了。但我们没有更好的，只能用这个。”
“我们的原料，纯度不够，批次不稳。但我们没有外汇进口高纯度的，只能用这个。”
“我们的车间，洁净度不够，温控不精准。但我们没有钱建超净车间，只能用这个。”
他顿了顿，声音提高：“但同志们，这些是理由吗？是咱们做不出合格芯片的理由吗？”
还是没人说话。
“我说，不是！”赵四重重地说，“设备旧，我们可以改造。材料差，我们可以提纯。环境不好，我们可以想办法控制。这些是困难，但不是绝路！”
他拿起一片报废的晶圆：“大家看看这个。线条模糊，断线，粘连。问题出在哪？出在我们把每个环节都当成独立的，没有当成一个整体。”
“光刻不是涂胶、曝光、
更多内容加载中...请稍候...
若您看到此段落，代表章节内容加载失败，请关闭浏览器的阅读模式、畅读模式、小说模式，以及关闭广告屏蔽功能，或复制网址到其他浏览器阅读！